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エレクトロニクス関連商品-静電チャック

静電チャック

概略

静電チャックは、内部に設けた電極に電圧を印加し、被吸着体をクーロン力(静電気力)によって吸着固定します。均一な吸着性、真空環境への対応など、機械、バキューム方式にない特長を持っています。当社の静電チャック「エレファン®TAD」は、20年以上に渡り、国内・海外装置メーカーにOEM供給実績を持つ高精度で高信頼性の製品であり、世界でトップレベルのシェアを誇っています。

用途

- 半導体製造装置(ドライエッチング、または、CVDプロセス ウエハー固定)。
- 搬送用アーム、半導体ウエハー・薄物基材の保持、カール等の形状矯正。
- フラットパネル(液晶・有機EL・タッチパネル等)真空貼り合わせ装置・液晶ODF装置。
- 金属・フィルム部材・ガラスの搬送または保持。

特長

- 独自開発の高絶縁性接着剤をベースとした自社での一貫生産(*)が可能です。

 (*) 独自薄膜塗工技術による接着シート製造
    ウェットエッチング加工
    Co2レーザー加工
    真空貼合加工
    精密仕上加工
    真空環境評価

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