電子相關產品靜電卡盤

靜電吸盤是對內部的電極施加電壓,並通過庫侖力(靜電力)將目標吸附固定住。比起機械和真空方式有更多優點,如均勻的吸附性以及真空環境的兼容性等。

本公司的靜電吸盤「ElephaneTAD」20多年來一直為國內外設備製造商提供OEM服務,擁有世界一流的市佔率,是一種高精度,高可靠性的產品。


特色 1本公司可內部一貫化生產作業(※)

  • 基於獨家開發的高絕緣黏著劑實現的高品質
  • ※使用我們獨家薄膜塗裝技術來生產黏著膠帶

特色 2對應各種加工,以滿足顧客需求

  • 濕蝕刻加工
  • Co2雷射加工
  • 真空貼合加工
  • 精密最終加工
  • 真空環境評估

用途

  • 半導體製造裝置(乾蝕刻或是CVD工程 晶圓固定)
  • 搬運機械手臂,半導體晶圓・薄物基板的維持,彎曲形狀的矯正
  • 平板(液晶・有機EL・觸控面板等)真空貼合裝置・液晶ODF裝置
  • 金屬・薄膜材料・玻璃的搬運或是維持

結構

聯繫我們