電子相關產品靜電卡盤

靜電吸盤是對內部的電極施加電壓，並通過庫侖力（靜電力）將目標吸附固定住。比起機械和真空方式有更多優點，如均勻的吸附性以及真空環境的兼容性等。

本公司的靜電吸盤「ElephaneＴＡＤ」20多年來一直為國內外設備製造商提供OEM服務，擁有世界一流的市佔率，是一種高精度，高可靠性的產品。

特色 1本公司可內部一貫化生產作業(※)

• 基於獨家開發的高絕緣黏著劑實現的高品質
• ※使用我們獨家薄膜塗裝技術來生產黏著膠帶

特色 2對應各種加工，以滿足顧客需求

• 濕蝕刻加工
• Co2雷射加工
• 真空貼合加工
• 精密最終加工
• 真空環境評估

用途

• 半導體製造裝置（乾蝕刻或是CVD工程 晶圓固定）
• 搬運機械手臂，半導體晶圓・薄物基板的維持，彎曲形狀的矯正
• 平板（液晶・有機EL・觸控面板等）真空貼合裝置・液晶ODF裝置
• 金屬・薄膜材料・玻璃的搬運或是維持

結構