电子相关产品静电吸盘

静电吸盘对设置在内部的电极施加电压,通过库仑力(静电力)来吸附固定被吸附物体。它具有传统机械夹持,真空吸附方式所不具备的特点,例如均匀吸附、支持真空环境等。
静电吸盘“ElephaneTAD”是一款高精度、高可靠性的产品,具有20多年来一直为国内外设备制造商提供OEM供应的业绩,市场占有率居世界前列。
特点 1可进行全套自主生产(※)
- 以自主研发的高绝缘性接着剂为基础实现高品质
- ※使用独创的薄膜涂层技术制造接着薄膜
特点 2可根据客户要求,支持各种加工需求
- 湿法刻蚀加工
- 二氧化碳激光加工
- 真空贴合加工
- 精密处理加工
- 真空环境评价
用途
- 半导体制造设备(干法刻蚀或 CVD 工艺晶片固定)
- 搬运臂、半导体晶片・薄基材的固定、卷曲等形状校正
- 平面显示器(液晶、有机EL、触摸屏等)真空贴合装置、液晶ODF装置
- 金属、薄膜配件、玻璃的搬运或固定
结构
