电子相关产品静电吸盘

静电吸盘对设置在内部的电极施加电压，通过库仑力（静电力）来吸附固定被吸附物体。它具有传统机械夹持，真空吸附方式所不具备的特点，例如均匀吸附、支持真空环境等。

静电吸盘“ElephaneＴＡＤ”是一款高精度、高可靠性的产品，具有20多年来一直为国内外设备制造商提供OEM供应的业绩，市场占有率居世界前列。

特点 1可进行全套自主生产(※)

• 以自主研发的高绝缘性接着剂为基础实现高品质
• ※使用独创的薄膜涂层技术制造接着薄膜

特点 2可根据客户要求，支持各种加工需求

• 湿法刻蚀加工
• 二氧化碳激光加工<
• 真空贴合加工
• 精密处理加工
• 真空环境评价

用途

• 半导体制造设备（干法刻蚀或 CVD 工艺晶片固定）
• 搬运臂、半导体晶片・薄基材的固定、卷曲等形状校正
• 平面显示器（液晶、有机EL、触摸屏等）真空贴合装置、液晶ODF装置
• 金属、薄膜配件、玻璃的搬运或固定

结构