特点 2利用多孔性赋予功能

发热体采用了本公司研发的不锈钢纤维纸。
该纤维纸采用造纸技术制造，具有类似纸张的多孔性。
因此，可以像以下使用场景所示，在对发热体本身通风的同时进行加热。
实现了普通加热器难以兼顾的“加热”与“通风”两项功能。

特点 3可实现精确的温度控制及缩短温度响应时间

由于加热器部件本身具有透气性，可以在垂直于加热面的方向通风的同时，实现高效加热。
通过这种结构，在降低加热器部件热容量的同时，实现了极高的温度响应性及升温性能，从而能够实现精确的温度控制。

特点 4可实现加热器部件的小型化与轻量化

由于采用了像纸一般多孔且轻质的发热体，加热器部件可实现小型化与轻量化，有助于腾出设备内部空间。
由此腾出的空间，可根据客户现场的需求添加所需功能。

特点 5可根据客户要求及规格进行定制

TOMOEGAWA的透气加热器可根据客户的规格进行定制

• 通过改变发热体的宽度来调整电阻值
• 区域温度调节
• 加热器形状
• 发热模式
• 发热区域
• 尺寸等

我们可根据具体应用需求提供定制化设计方案。
欢迎先与我们分享您的具体需求。

应用示例

适用于以下需要高精度温度控制和快速温度响应的应用场景：

• 半导体光刻设备
• 半导体检测设备
• 半导体后道工序设备
• 显示制造设备
• 电池制造设备
• 精密分析设备
• 光学测量设备
• 医疗分析设备
• 研发设备
• 此外，还适用于其他需要精密温度控制的制造设备。

客户常见问题与解决方案

Q. 与普通加热器有什么不同？

普通加热器的发热体结构可能会阻碍气流。
iCas MCT 的发热体本身具有多孔结构，可在通气的同时进行加热。
由此，有助于提高温度响应性、改善能源效率并实现装置的小型化。

Q. 可以期待达到什么样的温度控制性能？

iCas MCT 通过降低热容量的结构，实现了快速升温和优异的温度响应性。
温控性能根据不同用途而异，但已在半导体光刻设备等高精度温度控制领域有应用案例。

Q. 为什么需要通气性？

普通加热器的发热体本身可能会阻碍气流。
iCas MCT 的发热体本身具有通气性，可在确保气流的同时实现高效加热。
因此，有助于抑制温度不均、缩短响应时间并提高装置设计的自由度。

Q. 为什么温度响应性如此重要？

温度响应性越高，能源利用效率就越高。
因此，可以缩短达到设定温度的时间以及温度修正所需的时间，从而提高装置性能。
此外，还能满足现代对高效利用能源的需求。

Q. 请告知交付形式。

iCas MCT 是根据客户要求规格进行设计和制造的定制化产品。
关于形状、尺寸、发热模式等规格，也可以进行咨询。

Q. 加热器尺寸有限制吗？

iCas MCT 可根据客户要求规格进行定制化设计。
可应对的尺寸和形状因使用条件而异，请首先就您希望的尺寸和用途进行咨询。

Q. 可以在多少℃到多少℃的范围内运行？

可用温度范围因加热器配置、周边部件及使用环境而异。
我们将根据客户的要求规格进行设计，请告知目标温度及使用条件。

Q. 风量、风速是否有限制？

iCas MCT 采用发热体本身具有透气性的结构，可在空气通过的同时进行加热。
最佳的风量和风速条件因所需的加热性能及装置配置而异。
我们将根据用途进行评估和设计，请告知相关条件。

Q. 是否可以节能？

iCas MCT 在降低热容量的同时，实现了极高的温度响应性及升温性能。
因此，能够高效加热所需部位，有望缩短达到目标温度的时间并提高能源利用效率。
实际的节能效果因装置配置及运行条件而异。

Q. 除了半导体曝光设备外，还可以用于其他设备吗？

iCas MCT 是针对需要精密控温及快速温度响应的设备而开发的。
例如，预计可用于：

• 半导体制造设备
• 半导体检测设备
• 显示制造设备
• 光学设备
• 分析设备
• 医疗设备
• 研发设备等。