静電チャックは、内部に設けた電極に電圧を印加し、被吸着体をクーロン力(静電気力)によって吸着固定します。均一な吸着性、真空環境への対応など、機械、バキューム方式にない特長を持っています。

TOMOEGAWAの静電チャック「エレファンＴＡＤ」は、20年以上に渡り、国内・海外装置メーカーにOEM供給実績を持つ高精度で高信頼性の製品であり、世界でトップレベルのシェアを誇っています。

特長 1自社での一貫生産(※)が可能

• 独自開発の高絶縁性接着剤をベースにした高品質を実現
• ※独自薄膜塗工技術による接着シートを製造

特長 2お客様のニーズに合わせた各種加工に対応

• ウェットエッチング加工
• CO₂レーザー加工
• 真空貼合加工
• 精密仕上加工
• 真空環境評価

用途例

• 半導体製造装置（ドライエッチング、または、CVDプロセス ウエハー固定）
• 搬送用アーム、半導体ウエハー・薄物基材の保持、カール等の形状矯正
• フラットパネル(液晶・有機EL・タッチパネル等)真空貼り合わせ装置・液晶ODF装置
• 金属・フィルム部材・ガラスの搬送または保持

構造