半導体・ディスプレイ関連事業製品フレキシブル面状ヒーター iCas MHE

本製品は、熱・電気・電磁波を制御する「iCas」ブランド製品です。

効率的な加熱で省エネに貢献するフレキシブル面状ヒーター

TOMOEGAWAのフレキシブル面状ヒーターは、独自技術であるステンレス繊維シートを使用しています。
ステンレス繊維の優れたフレキシブル性で被加熱体へ密着、効率的な加熱を実現し、省エネに貢献します。
また、UL499を取得しています。（登録番号: E541733）

TOMOEGAWAのフレキシブル面状ヒーターは、ステンレス繊維シートの優れた柔軟性により、被加熱体の表面に追従させることが可能です。
この特性により、効率的に熱を加えることができるため、条件によってはニクロム線ヒーターと比較して約50％^※1の省エネ効果が期待できます。

※1：自社測定により確認。

『フレキシブル面状ヒーター iCas MHE』は、被加熱体に密着して効率よく熱を伝えることで、省エネルギー化に貢献します。
環境省の環境技術実証（ETV）事業では、第三者機関により、省エネルギー性が実証されました。

TOMOEGAWAのフレキシブル面状ヒーターは、紙のように薄くフラットなステンレス繊維シートを発熱体として採用しています。
この特性により、下のサーモグラフィーのように、面全体が均一に加熱されます。
さらに、ステンレス繊維シートは微細な繊維が結合された発熱体であるため、断線リスクも低減されます。

通常のニクロム線ヒーターを面状にすると、面内に凹凸が発生します。
このため、熱拡散層(アルミ箔)を使用しても、上のサーモグラフィーのように、面内での発熱が不均一になってしまいます。

発熱体であるステンレス繊維シートは、ステンレス箔と比較して熱容量が小さいことが特長です。
そのため、ステンレス箔を使用した面状ヒーターと比べて、短時間での昇温が可能^※2です。

※2：自社測定により確認。

TOMOEGAWAのフレキシブル面状ヒーターは、お客様の要求仕様に応じて、ライン幅変更による抵抗値調整や部分的な加熱温度の調整など、最適な設計とカスタマイズを行って提供しています。L字配管、エルボ、継手など複雑形状にも対応しています。
まずはお客様のご要望をお聞かせください。

工場配管・装置配管の加熱
各種設備の曲面部・狭い場所の加熱

最小で1/4inch（Φ6.35mm）の細径から、ガス配管の温度管理を省スペースで実現

フレキシブル面状ヒーター技術を応用した細径ガス配管向け加熱ソリューションです。
半導体製造装置や分析装置などで使用される細径配管の保温・加熱用途に適しています。

温度ムラを抑え、熱容量の異なる部品も、1枚で均一加熱

フレキシブル面状ヒーター技術を活用し、半導体製造装置のチャンバーやポンプ、ガスボックスなどの平面部向けに開発した薄層ヒーターです。
1枚のヒーター内で発熱分布を調整できるため、熱容量の異なる部位を均一に加熱することが可能です。
フィルムヒーター単体での提供にも対応しています。