半導体・ディスプレイ関連事業製品通気性ヒーター部品 iCas MCT

本製品は、熱・電気・電磁波を制御する「iCas」ブランド製品です。

ヒーター自体が通気性を持ち、精密な温度制御を実現

TOMOEGAWAの通気性ヒーター部品 iCas MCTは、発熱体に、独自技術によるステンレス繊維シートを採用したヒーターです。
このユニークな構造が、発熱体そのものに通気性を持たせることを可能にし、発熱体に垂直に空気を通過させながら効果的に加熱することができます。

特長 1こんな課題を解決します（こんな装置に活用できます）

精密な温度制御が求められる、下記のような製造装置での活用が考えられます。
例えば半導体露光装置で求められる、mK(ミリケルビン）単位の高精度かつ高速な温度制御を実現に貢献します。

半導体製造装置
光学機器
分析機器
医療機器
電池製造設備
精密加工装置

iCas MCTは、高い温度応答性と、発熱体そのものが通気性を持つというユニークな構造を活かし、こうした先端産業向け装置への応用が可能です。

特長 2多孔質性を活かした機能付与

発熱体には、TOMOEGAWAが開発したステンレス繊維シートが採用されています。このシートは抄紙技術によって製造されており、紙のような多孔質性を持っています。
そのため以下の使用イメージのように、発熱体そのものに風を通しながら加熱することが可能です。
一般的なヒーターでは難しい「加熱」と「通気」の両立を可能にします。

特長 3精密な温度制御・温度応答時間の短縮が可能

ヒーター部品自体に通気性を持たせることが可能なため、加熱面に対して垂直方向に空気を通しながら、効果的に加熱することができます。
この構造により、ヒーター部品の熱容量を抑えつつ、高い温度応答性および昇温性能を実現し、精密な温度制御を可能にします。

特長 4ヒーター部品の小型化・軽量化が可能

紙のように多孔質で軽量な発熱体を採用しているため、ヒーター部品を小型化・軽量化が可能となり、装置内部のスペース創出に貢献します。
その結果生じたスペースに、お客様の現場のニーズに合わせた必要な機能を追加することが可能です。

特長 5お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズが可能

TOMOEGAWAの通気性ヒーターは、お客様の要求仕様に応じて

ライン幅変更による抵抗値調整
部分的な加熱温度の調整
ヒーター形状
発熱パターン
発熱エリア
サイズ

など、用途に適した仕様に設計・カスタマイズして提供しています。
まずはお客様のご要望をお聞かせください。

用途例

高精度な温度制御や高速な温度応答が求められる、下記のような用途に適しています。

半導体露光装置
半導体検査装置
半導体後工程設備
ディスプレイ製造装置
バッテリー製造設備
精密分析装置
光学測定機器
医療分析機器
研究開発設備
その他、精密な温度制御が求められる製造装置

このようなお客様のニーズにお応えします（よくある質問）

Q. 一般的なヒーターと何が違いますか？

一般的なヒーターは発熱体が気流を遮る構造となる場合があります。iCas MCTは発熱体自体が多孔質構造を持つため、空気を通しながら加熱が可能です。
これにより、温度応答性向上、エネルギー効率改善、装置の小型化に貢献します。

Q.どの程度の温度制御性能が期待できますか？

iCas MCTは熱容量を抑えた構造により、高速な昇温性と優れた温度応答性を実現します。
用途によって異なりますが、半導体露光装置のような高精度温度制御用途への採用実績があります。

Q. なぜ通気性が必要なのですか？

一般的なヒーターでは、発熱体自体が空気の流れを妨げる場合があります。
iCas MCTは発熱体そのものが通気性を持つため、気流を確保しながら効率的な加熱が可能です。
その結果、温度ムラの抑制、応答時間の短縮、装置設計の自由度向上に貢献します。

Q. なぜ温度応答性が重要なのですか？

温度応答性が高いほど、エネルギーを効率的に使えることになります。
結果、設定温度への到達時間や温度補正に要する時間を短縮でき、装置の性能を向上させることができます。
さらには、エネルギーを効率的に使用することが求められる現代のニーズにお応えすることができます。

Q. 納品形態を教えてください。

iCas MCTは、お客様の要求仕様に応じて設計・製作するカスタム対応製品です。
形状・サイズ・発熱パターンなどの仕様についてもご相談いただけます。

Q. ヒーターサイズの制限はありますか？

iCas MCTは、お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズ設計が可能です。
対応可能なサイズや形状は使用条件によって異なるため、まずはご希望の寸法や用途についてご相談ください。

Q. 何℃から何℃の範囲で稼働可能でしょうか？

使用可能温度範囲は、ヒーター構成や周辺部材、使用環境によって異なります。
お客様の要求仕様に応じて設計を行うため、目標温度や使用条件をお知らせください。

Q. 風量、風速の制限はありますか？

iCas MCTは、発熱体そのものに通気性を持たせた構造を採用しており、空気を通過させながら加熱を行うことができます。
最適な風量・風速条件は、必要な加熱性能や装置構成によって異なります。
用途に応じた評価・設計を行いますので、条件をお知らせください。

Q. 省エネにもなりますでしょうか？

iCas MCTは、熱容量を抑えながら高い温度応答性と昇温性能を実現しています。
そのため、必要な箇所を効率よく加熱でき、温度到達時間の短縮やエネルギー利用効率の向上に貢献することが期待されます。
実際の省エネルギー効果は、装置構成や運転条件によって異なります。

Q. 半導体露光装置以外にも使用できますか？

iCas MCTは、精密な温度制御や高速な温度応答が求められる装置向けに開発されています。
例えば、

半導体製造装置
半導体検査装置
ディスプレイ製造装置
光学機器
分析機器
医療機器
研究開発設備

などへの応用が期待されます。